Fotolitografia

Dizionario delle Scienze Fisiche (1996)

fotolitografia


fotolitografìa [Comp. di foto- e litografia] [FTC] [OTT] Tecnica di riproduzione (inizialmente su pietra, donde il nome, poi su foglio metallico o di altro materiale) di immagini (matrici di stampa, ecc.) mediante l'uso di un'emulsione fotosensibile oppure di altro materiale fotosensibile (→ fotoresist). ◆ [ELT] F. per circuiti integrati: v. circuiti elettronici integrati: I 613 e.

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